Електрофізичні властивості тонких плівок Ru
No Thumbnail Available
Date
2016
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Сумський державний університет
Theses
Date of Defense
Scientific Director
Speciality
Date of Presentation
Abstract
Нанорозмірні плівки Ru різними авторами використовуються як захисні шари завдяки своїй високій стабільності контактного опору і високій механічній твердості. У поєднанні з магнітними металами VIII групи (Co, Fe та Ni) вони розглядаються як перспективний матеріал для створення стійких функціональних структур спін-клапаного типу. Однак, надзвичайна рідкість і важкість отримання чистого Ru довгий час не дозволяли вивчити електрофізичні властивості як одношарових плівок, так і сплівів на його основі. У даній роботі наведені результати дослідження структурно-фазоого стану та електрофізичних властивостей одношарових плівок Ru у інтервалі товщин від 10 до 80 нм отриманих методом термічного осадження у вакуумі на очищені сіталові підкладки або вуглецеві плівки товщиною 20 нм.
Keywords
тонкі плівки, тонкие пленки, thin films, електрофізичні властивості, электрофизические свойства, electrical properties
Citation
Распутько, Ю.В. Електрофізичні властивості тонких плівок Ru [Текст] / Ю.В. Распутько, А.М. Логвинов; кер. І.В. Чешко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С.123.