Вимірювання елементного складу матеріалів за допомогою електронного спектра мас

Abstract

Робота присвячена конструкції багатоканального детектора у складі мас-спектрометра, який реалізує функції реєстрації, перетворення іон-лавина електронів та видачі інформації про їх кількість у кожному з каналі у вигляді логічних сигналів. Адаптації мас-спектрометра для роботи з експериментальними зразками приладів в якості детектора іонів і дослідженню експериментальних зразків приладів в складі мас-спектрометра.

Работа посвящена конструкции многоканального детектора в составе масс-спектрометра, который реализует функции регистрации, преобразования ион-лавина электронов и выдачи информации об их количестве в каждом из каналов в виде логических сигналов. Адаптации масс-спектрометра для работы с экспериментальными образцами приборов в качестве детектора ионов и исследованию экспериментальных образцов приборов в составе масс-спектрометра.

The work is concerned with a multichannel detector consisting of mass spectrometer that implements the functions of registration, generation of ion-electron avalanche and giving out information about their number in each channel in the form of logical signals. Mass spectrometer was adapted for the work as an ion detector with experimental samples of the devices and for the study of experimental samples of devices in assembly with the mass spectrometer.