Мойсеєнко, А.І.2023-07-052023-07-052023Мойсеєнко А. І. Дослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVD : робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра : спец. 153 - мікро- та наносистемна техніка / наук. кер. Я. О. Кравченко. Суми : Сумський державний університет, 2023. 41 с.https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92379У першому розділі розглянуто види функціональних покриттів та їх структурні особливості, а саме потрійні нітридні та багатокомпонентні покриття. Також методи фізичного осадження з парогазової фази та осадження покриттів на основі нітриду металів. У другому розділі описано методи осадження і дослідження багатоелементних покриттів. Третій розділ присвячено дослідженню морфології та елементного складу інтерметалідних та нітридних покриттів серій NbCuSi та (NbCuSi)N.ukcneпокриттяcoatingsметоди осадженняdeposition methodsаналізanalysisДослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVDBachelous paper