Демиденко, Максим ГеннадійовичДемиденко, Максим ГеннадьевичDemydenko, Maksym HennadiiovychПроценко, Сергій ІвановичПроценко, Сергей ИвановичProtsenko, Serhii IvanovychТищенко, Костянтин ВолодимировичТищенко, Константин ВладимировичTyshchenko, Kostiantyn VolodymyrovychФедченко, Олена ВікторівнаФедченко, Елена ВикторовнаFedchenko, Olena Viktorivna2012-08-282012-08-282012М.Г. Демиденко, С.І. Проценко, К.В. Тищенко, О.В. Федченко, Ж. нано- електрон. фіз. 4 № 2, 38 (2012)0000-0002-8070-1610http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27811Використовуючи оптичні елементи компанії Torhlabs та систему графічного програмування LabVIEW 2010, розроблено автоматизований програмно-апаратний комплекс для дослідження опти- чних властивостей багатошарових плівкових систем. Запропоновано сумісний генетичний алгоритм для обробки експериментальних даних нуль еліпсометрії та рентгенівської рефлектрометрії. Показа- но, що запропонований підхід дозволяє дуже точно інтерпретувати фазові перетворення, дифузійні процеси та розмиття інтерфейсів в багатошарових плівкових системах при використанні різних роз- рахункових теоретичних моделей. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27811ukcneнуль-еліпсометріярентгенівська рефлектометріяоптичні коефіцієнтиспіввідно- шення Френелягенетичні алгоритмиArticle