Шелест, Ігор ВладиславовичШелест, Игорь ВладиславовичShelest, Ihor VladyslavovychКравченко, Ярослав ОлеговичКравченко, Ярослав ОлеговичKravchenko, Yaroslav OlehovychБуранич, Володимир ВолодимировичБуранич, Владимир ВладимировичBuranych, Volodymyr VolodymyrovychЄпіфанов, І.Н.2018-06-042018-06-042018Синтез надтвердих плівок дибориду танталу методом магнетронного розпилення на постійному струмі [Текст] / І.В. Шелест, В.В. Буранич, І.Н. Єпіфанов, Я.О. Кравченко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 5-9 лютого 2018 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. – Суми: СумДУ, 2018. – С. 50.0000-0003-0984-1298http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/67910Матеріали модифіковані покриттями боридів та боридонітрідів набувають високої міцності і температурної стабільності, добре зарекомендували себе у сфері машинобудування. Надтвердість у даних плівках обумовлюється особливим наноструктурних станом з переважною орієнтацією зростання зерен по відношенню до кристалографічної площини.Для отримання покриттів диборида танталу використовували DC-магнетронну систему для реактивного синтезу з композиційних мішеней.ukcneборидиборидыboridesнаноструктуринаноструктурыnanostructuresплівкипленкиfilmsTheses