Шахова, І.М.2018-11-012018-11-012018Шахова, І.М. Мікроструктура та властивості AlN-TiB2-TiSi2 покриттів після високотемпературного відпалу та іонної імплантації [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 6.050801 – мікро- та наноелектроніка / І.М. Шахова; наук. керівник О.Д. Погребняк. - Суми: СумДУ, 2018. - 48 с.http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/69547Тенденції постійного збільшення вимог щодо швидкості механічної обробки і якості деталей механізмів разом із встановленими екологічними стандартами, зумовлюють високі вимоги до матеріалів покриттів, зокрема, висока твердість і висока стійкість до окислення. Останнім часом сформувалася тенденція до розробки покриттів, що мають у своєму складі п'ять і більше елементів, правильно підібрана комбінація яких обумовлює унікальні переваги таких покриттів перед покриттями з меншою кількістю компонентів. Метою даної роботи є проведення комплексного дослідження структури, фазового складу, морфології поверхні та фізико-механічних характеристик покриття, отриманого методом імпульсного магнетронного розпилення багатокомпонентної мішені з низькою провідністю AlN-TiB2-TiSi2 і вивчення зміни властивостей покриття в результаті високотемпературного впливу.ukcneбагатошарові покриттямногослойные покрытияmultilayer coatingsмагнетронне розпиленнямагнетронное распылениеmagnetron sputteringмікротвердістьмикротвердостьmicrohardnessBachelous paper