Латишев, Віталій МихайловичЛатышев, Виталий МихайловичLatyshev, Vitalii MykhailovychКорнющенко, Ганна СергіївнаКорнющенко, Анна СергеевнаKorniushchenko, Hanna SerhiivnaПерекрестов, Вячеслав ІвановичПерекрестов, Вячеслав ИвановичPerekrestov, Viacheslav Ivanovych2015-01-202015-01-202014В.М. Латышев, А.С. Корнющенко, В.И. Перекрестов, Ж. нано- электрон. физ. 6 № 4, 04023 (2014)0000-0003-1385-89810000-0002-2996-1003http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/38462Вивчені закономірності формування наносистем цинку при конденсації слабко пересичених парів у високочистому інертному середовищі при варіюванні таких технологічних параметрів, як потужність розряду магнетронного розпилювача та тиск робочого газу (Ar). За допомогою рентгенофазового аналізу і РЕМ-досліджень з’ясовано, що найбільш тонкі та взаємозв’язані нанонитки цинку формуються при тиску робочого газу 12 Па і потужності магнетронного розпилювача 30 Вт. Показано, що процеси окислення наносистем цинку з максимально можливим збереженням морфології вихідних структур можливі при використанні в якості окислювального середовища суміші газів CO2 і O2.Изучены закономерности формирования наносистем цинка посредством конденсации слабопересыщенных паров в высокочистой инертной среде при варьировании таких технологических параметров, как мощность разряда магнетронного распылителя и давление рабочего газа (Ar). При помощи рентгенофазового анализа и РЭМ-исследований установлено, что наиболее тонкие и взаимосвязанные нанонити цинка формируются при давлении рабочего газа 12 Па и мощности разряда магнетронного распылителя 30 Вт. Показано, что процессы окисления наносистем цинка с максимально возможным сохранением морфологии исходных структур возможны при использовании в качестве окислительной среды смеси газов CO2 и O2.The peculiarities of the zinc nanosystem formation by means of the low saturated vapor condensation in the high-clean inert medium with the variation of technological parameters, such as the magnetron sputtering discharge power and the plasma-forming gas pressure (Ar) have been studied. By means of the XRD- and the SEM-studies it is determined that the most thin and interconnected zinc nanowires are generated under the plasma-forming gas pressure of 12 Pa and the magnetron sputtering discharge power of 30 W. It is shown that the zinc nanosystem oxidation processes with the most possible preservation of the morphology of the initial structures are possible due to the use of CO2 and O2 gas mixture as an oxidizing medium.rucneНанонитиНаносистемыЦинкОксид цинкаОкислениеМагнетронное распылениеПересыщениеZnZnOНанониткиНаносистемиЦинкОксид цинкуОкисленняМагнетронне розпиленняПересиченняZnZnONanowiresNanosystemsZincZinc oxideOxidationMagnetron sputteringSaturatingZnZnOArticle