Перекрестов, Вячеслав ІвановичПерекрестов, Вячеслав ИвановичPerekrestov, Viacheslav IvanovychКорнющенко, Ганна СергіївнаКорнющенко, Анна СергеевнаKorniushchenko, Hanna Serhiivna2019-01-152019-01-152018Пат. 117407 U Україна, МПК B01D 53/04 (2006.01). Спосіб тонкого очищення інертних газів від газоподібних домішок / В.І. Перекрестов, Г.С. Корнющенко (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № a201613359; заявл. 26.12.2016; опубл. 25.07.2018, бюл. № 14.0000-0002-2996-1003http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/71102Пропонується спосіб тонкого очищення інертних газів від газоподібних домішок, що включає введення в вакуумну камеру через клапан дозованого напуску неочищеного інертного газу, розкладання в плазмі газоподібних домішок неочищеного інертного газу па компоненти, розпилення титанової мішені іонами неочищених інертних газів з наступною конденсацією парів титану і утворенням плівки титану на внутрішній поверхні вакуумної камери, поглинання плівкою титану компонентів газоподібних домішок, в якому з метою підвищення продуктивності тонкого очищення інертних газів, та розширення варіантів їх подальшого використання, як вакуумна камера, в яку вводять неочищений інертний газ, використовують камеру циліндричної форми, внутрішню бокову поверхню якої охолоджують проточною водою, при цьому в якості титанової мішені для іонною розпилення використовують розігрітий до температури, що перевищує N00 °С титановий стрижень, який розташований співвісно циліндричній вакуумній камері, що оснащена клапаном для дозованого відведення очищених інертних газів.ukcneочищення інертних газівочистка инертных газовcleaning of inert gasesдомішкипримесиimpurityвакуумна камеравакуумная камераvacuum chamberPatent