Погребняк, Олександр ДмитровичПогребняк, Александр ДмитриевичPohrebniak, Oleksandr DmytrovychTakeda, Y.Oyoshi, K.Komarov, F.F.Kassi, J.Опанасюк, Анатолій СергійовичОпанасюк, Анатолий СергеевичOpanasiuk, Anatolii SerhiiovychБересток, Таїсія ОлександрівнаБересток, Таисия АлександровнаBerestok, Taisiia Oleksandrivna2014-07-252014-07-252014A.D. Pogrebnjak, T.O. Berestok , A.S. Opanasyuk, et al., J. Nano- Electron. Phys. 6 No 2, 02003 (2014)0000-0002-1888-39350000-0002-9218-6492http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35958Методами RBS, рентгеноструктурного аналізу та раманівського розсіювання були досліджені леговані та нелеговані алюмінієм плівки ZnO, отримані за допомогою золь-гель методу на скляних підкладках з по- дальшим імплантуванням іонами Au+ . Рентгенодифрактометричний аналіз показав, що зразки мають гек- сагональну структуру з постійними гратки a  0.3245-0.3248 нм, c  0.5203-0.5204 нм, c / a  1.602-1.603 та текстурою росту [101]. Середній розмір ОКР в зразках становить L(100)  13.3-13.6 нм, L(002)  (11.3-12.6) нм, L(101)  12.0-12.2 нм. Встановлено, що розмір ОКР, період гратки та якість текстури отриманих зразків не залежать від імплантування плівок ZnO іонами Au+. За даними рентгеноструктурного аналізу показано, що іони золота у плівках знаходяться в основному у вигляді фази AuZn3. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35958Методами RBS , рентгеноструктурного анализа и рамановского рассеяния были исследованы ле- гированные и нелегированные алюминием пленки ZnO, полученные с помощью золь - гель метода на стеклянных подложках с последующим имплантированием ионами Au+. Рентгенодифрактометриче- ский анализ показал, что образцы имеют гексагональную структуру с постоянными решетки a  0.3245-0.3248 нм, c  0.5203-0.5204 нм, c / a  1.602-1.603 и текстурой роста [101]. Средний размер ОКР в образцах составляет L(100)  13.3-13.6 нм , L(002)  (11.3-12.6) нм , L(101)  12.0-12.2 нм. Установле- но, что размер ОКР, период решетки и качество текстуры полученных образцов не зависят от имплан- тирования пленок ZnO ионами Au+. По данным рентгеноструктурного анализа показано, что ионы зо- лота в пленках находятся в основном в виде фазы AuZn3. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35958The undoped and doped aluminum ZnO films were obtained by sol-gel method onto glass substrates with further implantation of Au+ ions. RBS, XRD methods and Raman spectroscopy were used for films characterization. The XRD analysis showed that obtained samples have a hexagonal structure with lattice constants a  0.3245-0.3249 nm, c  0.5203-0.5204 nm, c / a  1.602-1.603 and growth texture [101]. The values of coherent scattering domains (CSD) were equal to L(201)  (13.0-13.9) nm, L(101)  (12.0-12.2) nm, L(002)  (11.3-12.6) nm. It is found that there is not observed the effects of Au+ implantation on the values of CSD, lattice constants and texture of the films. According to X-ray analysis ions of gold in the films are mainly incorporated in the form of phase of AuZn3. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35958encneZnO:AlImplantation Au+Sol-gel methodRBSRaman investigationімплантування Au+золь-гель методРаманівська спектроскопіяимплантация Au+золь-гель методРамановская спектроскопияArticle