Соколов, Сергій ВікторовичСоколов, Сергей ВикторовичSokolov, Serhii ViktorovychЩекотова, И.В.Доброжан, А.А.2012-09-172012-09-172012Соколов, C.B. Математическая модель процесса ионной имплантации [Текст] / C.B. Соколов, И.В. Щекотова, А.А. Доброжан // Сучасні інформаційні системи і технології : матеріали Першої міжнародної науково-практичної конференції, м. Суми, 15-18 травня 2012 р. / Ред.кол.: А.С. Довбиш, О.А. Борисенко, І.В. Баранова. — Суми : СумДУ, 2012. — С. 27-28.0000-0001-8707-4616http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538Одним из современных методов поверхностной обработки материалов высокоэнергетическими частицами является ионная имплантация. Этот метод не зависит от пределов химической растворимости и концентрации материла примеси на поверхности кристалла, а также от температуры в процессе имплантации При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538rucneобробка матеріалівіонна імплантаціяобработка материаловионная имплантацияTheses