Карпуша, Василий ДаниловичШвец, Ульяна СтаниславовнаШвець, Уляна СтаніславівнаShvets, Uliana StanislavivnaKarpusha, Vasyl DanylovychКарпуша, Василь Данилович2010-12-212010-12-212004Карпуша, В.Д. Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях [Текст] / В.Д. Карпуша, У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2004. - №10(69). - С. 28-35.0000-0002-1518-4047http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997In the present paper the possibility of application of spectral ellipsometry method for determination of parameters of near-surface layers amorphous metallic alloys is analysed. The selection criterion of incorrect solutions of inverse ellipsometry task is suggested which is based on the evaluation of the maximal caused by an error of the method deviation determined parameters. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997rucneрешение обратной задачиметод спектральной єллипсометриироз`язання оберненої задачіметод спектральної еліпсометріїArticle