Чалюк, Роман ЮрійовичЧалюк, Роман ЮрьевичChaliuk, Roman YuriiovychД`яченко, Олексій ВікторовичДьяченко, Алексей ВикторовичDiachenko, Oleksii ViktorovychОпанасюк, Надія МиколаївнаОпанасюк, Надежда НиколаевнаOpanasiuk, Nadiia MykolaivnaРибальський, Я.І.2016-09-192016-09-192016Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідникових сполук у безкисневій атмосфері [Текст] / Я.І. Рибальський, Р.Ю. Чалюк, О.В. Д'яченко, Н.М. Опанасюк // Фізика, електроніка, електротехніка матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 191.http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46248Останнім часом для нанесення плівок полікристалічних матеріалів все більшу увагу привертають безвакуумні методи. Одним перспективних вважається метод спрей-піролізу, який дає змогу отримувати хімічно чисті плівки з керованим складом різної товщини при низьких температурах. Однак, за традиційною схемою розпилення прекурсору, що проводиться у повітрі й призводить до окислення матеріалів майбутньої плівки киснем.ukcneплівкипленкиfilmнапівпровідникові сполукиполупроводниковые соединенияcompound semiconductorTheses