Sokolov, Serhii ViktorovychСоколов, Сергей ВикторовичСоколов, Сергій ВікторовичМарченко, Т.В.2011-03-222011-03-222010Соколов, С.В. Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине [Текст] / С.В. Соколов, Т.В. Макаренко // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 166.0000-0001-8707-4616http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4228rucneметод ионной имплантацииметод іонної імплантаціїion implantationTheses