Опанасюк, Надія МиколаївнаОпанасюк, Надежда НиколаевнаOpanasiuk, Nadiia MykolaivnaРедько, О.Н.2011-09-282011-09-282005Редько, О.Н. Особенности базовых технологических процессов тонкопленочной технологии [Текст] / О.Н. Редько, Н.Н. Опанасюк // Тези науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : 18-29 квітня 2005 р. / Ред. кол.: Г.С. Воробйов, А.І. Новгородцев, О.В. Кобзарь. — Суми : СумДУ, 2005. — С. 141.http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/17956rucneтонкі плівкитонкие пленкиthin filmsTheses