Соболєва, М.І.2018-10-252018-10-252018Соболєва, М.І. Моделювання процесу магнетронного розпилення в інструменті SIMTRA [Текст]: робота за здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 6.050801 – мікро- та наноелектроніка / М.І. Соболєва; наук. керівник Ю.О. Космінська. – Суми: СумДУ, 2018. – 68 с.http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/69106Основною задачею роботи є комп’ютерне моделювання залежності параметрів масоперенесення в процесі іонно-плазмового розпилення та осадження атомів від тиску та відстані між мішенню і підкладкою в планарному магнетронному розпилювачі з використанням інструменту SIMTRA (SImulation of Metal TRAnsport).ukcneмагнетронне розпиленнямагнетронное распылениеmagnetron sputteringпланарний магнетронпланарный магнетронplanar magnetronтермалізаціятермализацияthermalizationSIMTRAфізичне осадження парифизическое осаждение паровphysical vapour depositionBachelous paper