Власенко, Олександр ВолодимировичВласенко, Александр ВладимировичVlasenko, Oleksandr VolodymyrovychПодуремне, Дмитро ВасильовичПодуремне, Дмитрий ВасильевичPoduremne, Dmytro VasylovychОднодворець, Лариса ВалентинівнаОднодворец, Лариса ВалентиновнаOdnodvorets, Larysa Valentynivna2015-06-092015-06-092015Vlasenko, О.V. The Electronic Properties of Film Materials Based on Fe and Pt or Ge [Текст] / О.V. Vlasenko, D.V. Poduremne, L.V. Odnodvorets ; supervisor I.Yu. Protsenko // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 20-25 квітня 2015 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми: СумДУ, 2015. — С. 141-142.0000-0002-8112-19330000-0003-4315-5654http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40986On the basis of thin films in microelectronics made the following elements of integrated circuits (IC): film resistors; electrodes (electrode film capacitors, spiral inductors busducts, installation guides, closures MIS  transistors) contact paths and platforms; auxiliary elements. Electrical connection of metals and semiconductors with metallic conductors is performed using layered condensation and formation of ohmic contacts not rectifier, the quality of which is largely dependent parameters and characteristics of microelectronic devices, their reliability and durabilityencneтонкие пленкитонкі плівкиthin filmинтегральные схемыінтегральні схемиintegrated circuitsтермическое испарениетермічне випаровуванняthermal evaporationTheses