Чешко, Ірина ВолодимирівнаЧешко, Ирина ВладимировнаCheshko, Iryna VolodymyrivnaЛогвинов, Андрій МиколайовичЛогвинов, Андрей НиколаевичLohvynov, Andrii MykolaiovychКостюк, Дмитро МиколайовичКостюк, Дмитрий НиколаевичKostiuk, Dmytro MykolaiovychШабельник, Юрій МихайловичШабельник, Юрий МихайловичShabelnyk, Yurii MykhailovychТкач, Олена ПетрівнаТкач, Елена ПетровнаTkach, Olena PetrivnaПроценко, Сергій ІвановичПроценко, Сергей ИвановичProtsenko, Serhii Ivanovych2021-04-052021-04-052020Пат. 144869 U Україна, C01B 32/184 (2017.01). Спосіб формування графену на поверхні тонкої плівки рутенію / І.В. Чешко, А.М. Логвинов, Д.М. Костюк та ін. (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № u202003712; заявл. 19.06.2020; опубл. 26.10.2020, бюл. № 20.0000-0002-1585-67120000-0002-7516-55180000-0002-8070-16100000-0001-5496-33450000-0003-3207-2490https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/83048Спосіб формування графену на поверхні тонкої плівки рутенію включає формування шару графену на поверхні тонкої плівки рутенію. Спосіб складається з трьох етапів, де на першому етапі в вакуумній камері установки ВУП-5М, яка оснащена механічним форвакуумним та паромасляним дифузійним насосом, що утворює в камері тиск залишкових газів порядку 10-4 Па, які містять вуглецеві сполуки, на підкладці з пластини монокристалу кремнію з шаром діоксиду кремнію формують адгезійний вуглецевовмісний шар товщиною не більше 1 нм, на другому етапі методом вакуумного термічного осадження в тій же вакуумній камері, за допомогою електронно-променевої гармати діодного типу формують тонку плівку рутенію товщиною 20 нм, а на третьому етапі пластину зі сформованою тонкою плівкою рутенію розміщують у робочому об'ємі вакуумної установки D-356Asslar, що оснащена турбомолекулярним насосом, який забезпечує безмасляний вакуум високого ступеня, після чого підкладку з рутенієм відпалюють при температурі Тв=827 С протягом 15 хв. з наступним охолодженням, причому нагрівання і охолодження відбувається з постійною швидкістю 2-3 С/хв, в результаті на поверхні тонкої плівки рутенію формується шар графену.ukcneрутенійрутенийrutheniumформування графенуформирования графенаgraphene formationтонка плівкатонкая пленкаthin filmPatent