Опанасюк, Анатолій СергійовичОпанасюк, Анатолий СергеевичOpanasiuk, Anatolii SerhiiovychКоваль, П.В.Магілін, Д.В.Пономарев, А.А.Чеонг, Х.2014-07-282014-07-282014А.С. Опанасюк, П.В. Коваль та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 6 No 2, 02019 (2014)0000-0002-1888-3935http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36040Методом рентгенівського характеристичного випромінювання індукованого сфокусованим протонним пучком проведено дослідження розподілу компонентів сполуки за площею плівок Cu2ZnSnSe4 μ-PІXE), а також визначено їх елементний склад (PІXE). Для реалізації методу використаний ядерний скануючий мікрозонд з енергією пучка протонів 1,5 MеВ і поперечним розміром зонда 4*4 мкм2. Плівки чотирьохкомпонентної сполуки отримані при різних фізико-технологічних режимах осадження співвипаровуванням компонентів з використанням електронно-променевої гармати. Як підкладки використано скло з підшаром молібдену нагріте до температури 400 градусів С. У результаті досліджень встановлено, що розподіл елементів по площі конденсатів є однорідним, а їх склад визначається фізикотехнологічними умовами отримання. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36040Методом рентгеновского характеристического излучения индуцированного сфокусированным протонным пучком проведено исследование распределения компонентов соединения по площади пленок Cu2ZnSnSe4 (μ-PІXE), а также определен их элементный состав (PІXE). Для реализации метода использован ядерный сканирующий микрозонд с энергией пучка протонов 1,5 MэВ и поперечным размером зонда 4×4 мкм2. Пленки четырехкомпонентного соединения получены при разных физикотехнологических режимах осаждения соиспарением компонентов с использованием электронно- лучевой пушки. В качестве подложки использовано стекло с подслоем молибдена нагретое до температуры 400 градусов С. В результате исследований установлено, что распределение элементов по площади конденсатов является однородным, а их состав определяется физико-технологическими условиями. получения. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36040By X-ray characteristic radiation induced by focused proton beam, the distribution of compound componentsover the area of Cu2ZnSnSe4 (μ-PІXE) films is investigated and their elemental composition (PІXE) is determined. Nuclear scanning microprobe with the proton beam energy of 1,5 MeV and the transverse dimension of the probe of 4×4 мm2 was used for the method realization. Films of fourcomponent compound were obtained under different physical and technological deposition modes by the thermal co-evaporation of the components using electron-beam gun. Sodium glass with molybdenum sublayer heated to 400 degrees C was used as the substrate. As a result of investigations it was established that the distribution of elements over the film area is homogeneous and their composition is determined by physical and echnological conditions of preparation. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36040ukcneЕлементний складПлівки Cu2ZnSnSe4Методи PIXEμ-PIXEЭлементный составПленки Cu2ZnSnSe4Методы PIXEμ-PIXEElemental compositionμ-PIXE techniquesCu2ZnSnSe4 filmPIXEАналіз елементного складу плівок Cu2ZnSnSe4 методами PIXE та м-PIXEАнализ элементного состава пленок Cu2ZnSnSe4 методами PIXE и μ-PIXEAnalysis of the Elemental Composition of Cu2ZnSnSe4 Films by the PIXE and μ-PIXE MethodsArticle