Дудко, М.І.2025-06-242025-06-242025Дудко М. І. Моделювання стабільності плівки нітриду цирконію методом молекулярної динаміки : робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра : спец. 113 – прикладна математика / наук. кер. О. А. Гончаров. Суми : Сумський державний університет, 2025. 43 с.https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/99321У роботі проведено моделювання формування та деградації плівки ZrN на кристалографічній підкладці з орієнтацією (100). Для побудови моделі використано актуальні параметри міжатомної взаємодії з урахуванням кутових залежностей у межах потенціалу MEAM. Моделювання проводилося для температур 700 K та 1200 K, що дозволило оцінити межу термічної стабільності плівки. Особливістю підходу є повноцінне 3D-моделювання атомної структури в динаміці з можливістю візуального аналізу процесів дифузії, руйнування зв’язків та зміни впорядкованості решітки. Показано, що за підвищення температури вище 1000 K плівка втрачає кристалічну симетрію, що свідчить про межу її застосування у високотемпературних умовах. Отримані результати можуть бути використані для прогнозування довговічності покриттів ZrN, оптимізації режимів їх нанесення та підвищення експлуатаційної надійності в мікроелектроніці, інструментальному виробництві та енергетичних системах.ukcneдифузіянітрид цирконіюмолекулярна динамікаMEAMтермостійкістьплівкаLAMMPSпараметри моделюванняBachelous paper