Степаненко, Андрій ОлександровичСтепаненко, Андрей АлександровичStepanenko, Andrii OleksandrovychВоробйов, Сергій ІгоровичВоробьев, Сергей ИгоревичVorobiov, Serhii IhorovychШабельник, Юрій МихайловичШабельник, Юрий МихайловичShabelnyk, Yurii Mykhailovych2011-07-282011-07-282007Воробйов, С.І. Вплив ізотермічного відпалювання на фазовий склад і електрофізичні властивості тонко плівкових систем на основі Аl та Ті [Текст] / С.І. Воробйов, Ю.М. Шабельник, А.О. Степаненко // Тези доповідей науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспіратнів та студентів фізико-технічного факультету : 19-26 квітня. - Суми : СумДУ, 2007. - C. 35.0000-0002-5884-32920000-0003-0105-04400000-0002-7516-5518http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15223ukcneВплив ізотермічного відпалювання на фазовий склад і електрофізичні властивості тонко плівкових систем на основі Аl та ТіTheses