Пєвнєв, М.В.2019-07-082019-07-082019Пєвнєв, М.В. Лазерна обробка в електронній техніці [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 171 - електроніка / М.В. Пєвнєв; наук. керівник І.П. Бурик. – Конотоп: КІ СумДУ, 2019. – 43 с.http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/73546Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є лазерна мікрообробка в електронній техніці. Мета роботи полягає у вивченні використання лазерного випромінювання для обробки матеріалів, електронних структур, елементів електронної техніки. Вивчено можливості застосування лазерного випромінювання для обробки матеріалів сучасної електроніки, зокрема для епітаксії, зміни електроопору, очищення поверхні, легування та перерозподілу домішки, рекристалізації аморфних і полікристалічних шарів, гетерування домішок, тощо. В першому розділі проведено огляд основ роботи лазерів та фізичних процесів лазерного випромінювання. В другому розділі вивчено методи лазерної мікрообробки в електронному приладобудуванні. В третьому розділі було розглянуто застосування лазерної обробки в електронній техніці.ukcneлазерне випромінюваннялазерное излучениеlaser radiationвзаємодія лазерного випромінювання з речовиноювзаимодействие лазерного излучения с веществомinteraction of laser radiation with matterсхема лазерної установкисхема лазерной установкиscheme of laser facilityBachelous paper