Perekrestov, Viacheslav IvanovychПерекрестов, Вячеслав ИвановичПерекрестов, Вячеслав ІвановичKorniushchenko, Hanna SerhiivnaКорнющенко, Анна СергеевнаКорнющенко, Ганна СергіївнаKosminska, Yuliia OleksandrivnaКосминская, Юлия АлександровнаКосмінська, Юлія Олександрівна2011-03-212011-03-212008Перекрестов, В.И. Проявление селективных процессов при формировании слоев алюминия вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат [Текст] / В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко, Ю.О. Косминская // Журнал технической физики. —2008. —том 78. —вып.10. —с. 117-1240000-0002-2996-10030000-0002-2175-9206http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4130Изучены механизмы порообразования в конденсатах алюминия при использовании принципиального нового технологического подхода, основанного на применении самоорганизованных распылительных систем. Установлено, что основные технологические параметры порообразования определяются близостью к фазовому равновесию в системе плазма-конденсат и преобладающим вкладом в поатомную сборку конденсата структурной или полевой селективностей. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4130rucneсамоорганизованная распылительная системасистема плазма-конденсатArticle