Perekrestov, Viacheslav IvanovychПерекрестов, Вячеслав ИвановичПерекрестов, Вячеслав ІвановичKosminska, Yuliia OleksandrivnaКосминская, Юлия АлександровнаКосмінська, Юлія ОлександрівнаНежинець, В.С.2011-03-212011-03-212008Перекрестов, В.І. Конденсація парів вуглецю за допомогою самоузгоджених іонних розпилювачів [Текст] / В.І. Перекрестов, Ю.О. Космінська, B.C. Нежинець // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. - Суми : СумДУ, 2008. - Т.2. - С. 52.0000-0002-2175-9206http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4061В даній роботі пропонується метод поатомного синтезу вуглецевих конденсатів, в якому використовується новий технологічний підхід, оснований на роботі самоузгоджених іонних розпилювальних систем. Ці системи самостійно забезпечують стаціонарність процесу та гранично низькі пересичення осаджуваної речовини, яка конденсується лише за умови формування таких хімічних зв’язків атомів вуглецю з ростовою поверхнею, енергія яких вища за деяке критичне значення. Частина конденсованої речовини, що не відповідає цій умові, фізичним способом видаляється з поверхні росту, і це сприяє селективному росту конденсату. В роботі досліджується взаємозв’язок між технологічними параметрами осадження та структурою і фазовим складом результуючого вуглецевого шару на підкладці. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4061ukcneвуглецьконденсація парівіонні розпилювачіуглеродконденсация паровионные распылителиcarbonvapor condensationion sprayКонденсація парів вуглецю за допомогою самоузгоджених іонних розпилювачівTheses