Погребняк, Олександр ДмитровичПогребняк, Александр ДмитриевичPohrebniak, Oleksandr DmytrovychБратушка, Сергій МиколайовичБратушка, Сергей НиколаевичBratushka, Serhii MykolaiovychКирик, Г.В.Ілляшенко, Максим ВікторовичИльяшенко, Максим ВикторовичIlliashenko, Maksym ViktorovychКаверін, Михайло ВалерійовичКаверин, Михаил ВалерьевичKaverin, Mykhailo ValeriiovychКаверина, А.Ш.Постольний, Богдан ОлександровичПостольный, Богдан АлександровичPostolnyi, Bohdan OleksandrovychРогоз, В.Н.Шипиленко, Андрій ПавловичШипиленко, Андрей ПавловичShypylenko, Andrii Pavlovych2014-04-232014-04-232013Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Исследование физико-химических свойств и структуры покрытий: звіт про НДР (промежуточный) / Кер.: А.Д. Погребняк. - Сумы: СумГУ, 2013. - 35 с.0000-0002-9218-64920000-0002-1741-25250000-0003-3470-2265http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482Объектом исследования является исследование физико-химических свойств и структуры нанокомпозитных покрытий на основе Ti-Hf-Si-N; Zr-Ti-Si-N и (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N, а также изучение влияния параметров осаждения на фазовый и элементный состав полученных пленок также был проведен анализ микротвердости покрытий, произведен отжиг и проанализирована терми-ческая стабильность сверхтвердых нанокомпозитов и гетероструктур, также разработка новых свойств покрытий и многокомпонентных твердых нано-структур (нанокомпозитных покрытий) на основе Ti-Hf -Si-N, Zr-Ti-Si-N и Ti-Nb-Si-N, (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/34482rucneелектронна структураэлектронная структурананокомпозитне покриттянанокомпозитные покрытияTechnical Report