Проценко, Іван ЮхимовичОднодворець, Лариса ВалентинівнаПроценко, Иван ЕфимовичОднодворец, Лариса ВалентиновнаProtsenko, Ivan YukhymovychOdnodvorets, Larysa Valentynivna2011-03-172011-03-172011Проценко, І.Ю. Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми) [Текст] : навч. посіб. / І.Ю. Проценко, Л.В. Однодворець. - Суми : СумДУ, 2011. - 231 с.978-966-657-336-30000-0002-8112-19330000-0003-3351-9303http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3881ukcneмікроелектронікаплівкові матеріалимикроэлектроникаплёночные материалыSchoolbook