Погребняк, Олександр ДмитровичПогребняк, Александр ДмитриевичPohrebniak, Oleksandr DmytrovychБорисюк, Вадим МиколайовичБорисюк, Вадим НиколаевичBorysiuk, Vadym MykolaiovychБагдасарян, Артем АнатолійовичБагдасарян, Артем АнатольевичBahdasarian, Artem Anatoliiovych2014-02-122014-02-122013Pohrebniak, O.D. Numerical analysis of the morphological and phase changes in the TiN/Al2O3 coating under high current electron beam modification [Текст] / O.D. Pohrebniak, V.M. Borysiuk, A.A. Bagdasaryan // Condensed Matter Physics. — 2013. — Vol.16? №3. — P. 1-3.0000-0001-5350-71530000-0002-9218-6492http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33940Проаналізовано процес модифікації структури поверхнi гiбридного покриття TiN/Al2O3 пiд впливом низькоенергетичного сильнострумового електронного пучка. Шорсткiсть поверхнi розглянуто як функцiю струму пучка. Поверхнi отриманих зразкiв дослiджувались за допомогою двовимiрного мультифрактального флуктуацiйного аналiзу. Для кiлькiсного аналiзу змiни шорсткостi розрахована функцiя мультифрактального спектру. Показано, що зi збiльшенням енергії пучка поверхня стає бiльш регулярною та рiвномiрною. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33940A modification of the surface structure of the hybrid coating TiN/Al2O3 with a low energy high current electron beam (NCEB) is performed. The surface roughness is considered as a function of beam current. Surfaces of the obtained samples are investigated within the two dimensional multifractal detrended fluctuation analysis(MFDFA). The multifractal spectrum of the surface is calculated as a quantitative parameter of the roughness. It is shown that with an increase of the beam energy, the surface becomes more regular and uniform. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33940encneself similarityfractal dimensionhybrid coatinghigh current electron beam(s) effectсамоподiбнiстьфрактальна розмiрнiстьгiбридне покриттяНПЕП ефектArticle