Просмотр по ключевому слову плазмовий катод


Показаны результаты 1 - 1 из 1
Год выпуска Название Автор(ы) Тип Просмотров Загружено
2011 DLC deposition by PECVD at plasma cathode based low-pressure discharge Gavrilov, N.V.; Mamaev, A.S. Conference Papers 272988471 219270396