Розпилювальний пристрій для нанесення покриттів у вакуумі

Abstract

Изобретение касается ионно-плазменной техники и пленочной микроэлектроники и может быть применено для нанесения покрытий и пленок в вакууме на плоские поверхности подкладок. Распыляющее устройство для нанесения покрытий в вакууме содержит анод, катод и водоохлаждаемую магнитную систему. Анод имеет герметический цилиндрический немагнитный корпус, внутри которого расположена магнитная система в виде одной секции постоянного магнита цилиндрической формы, к нижнему торцу которой и соосно к ней присоединен фокусирующий магнитопровод, выполненный из магнитомягкого материала в форме срезанного конуса. Нижняя часть герметического цилиндрического корпуса анода приварена к фокусирующему магнитопроводу. Кроме того, внутри герметического цилиндрического корпуса анода установлена трубка для подвода воды непосредственно к магнитной системе, и на верхней его части установлены два патрубка для подачи и отвода воды, соответственно. Катод имеет пустотелый корпус в виде срезанного конуса, на котором установлена верхняя распыляемая часть в виде сплошного диска с отверстиями, симметричными относительно оси устройства. Корпус катода прикреплен к его пустотелой основе, которая опирается на пустотелый держатель. Внутри держателя расположена трубка для подачи воды, а держатель и основа корпуса катода соединены трубкой для отвода воды. Внутри пустотелого корпуса катода на его основе расположены подкладки, вблизи поверхности которых расположена заслонка, и в нижней части самого корпуса катода выполнено отверстие перемещения заслонки. Устройство позволяет охлаждать подкладки в стабильном процессе нанесения покрытия, формировать покрытие легкоплавких материалов и максимально снизить в них содержание нежелательных примесей. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/10993

The invention concerns ion-plasma technique and film microelectronics and can be used for application of coatings and films in vacuum on flat surfaces of linings. A spraying device for application of coatings in vacuum contains anode, cathode and water-cooled magnetic system. The anode has an air-tight cylindrical nonmagnetic body into which inside the magnetic system is located in the form of one section of constant magnet of cylindrical form, to the lower butt end of which and axially thereto the focusing magnetic conductor is connected and which made in the form made from magnetically soft material in the form of truncated cone. The lower part of air-tight cylindrical body of anode is welded to the focusing magnetic conductor. In addition, inside the air-tight cylindrical body of anode the tube is set for supplying water directly to the magnetic system, and on its upper part two fittings are set for supplying and discharge of water, accordingly. The cathode has a hollow body in the form of truncated cone, on which the upper spraying part is set in the form of continuous disk with openings, and symmetrically relative to the axis of device. The body of cathode is fixed on its hollow basis which is supported by hollow holder. Inside the holder the tube is located for supplying water, and the holder and basis of body of cathode are connected by tube for withdrawing water. Inside the hollow body of cathode on its basis, linings are located, and near-by the surface of which shutters are located, and in the lower part of the cathode body itself an opening is made for moving the shutter. The device allows to cool linings in the stable process for application of coating, to form the coating of fusible materials and maximally reduce the content of undesirable admixtures in them. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/10993