Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Формирование прецизионного пучка протонов в зондовой системе с индивидуальными источниками питания магнитных квадрупольных линз (результаты эксперимента)
Other Titles Формування прецизійного пучка протонів у зондовій системі з індивідуальними джерелами живлення магнітних квадрупольних лінз (результати експерименту)
The Precision Proton Beam Formation in the Probe System with Individual Power Supplies of Magnetic Quadrupole Lenses (Experimental Results)
Authors Ponomarova, Hanna Oleksandrivna
Vorobiov, Hennadii Saveliiovych
Магилин, Д.В.
Ponomarov, Oleksandr Heorhiiovych
ORCID
Keywords Магнитная квадрупольная линза
Протонная пучковая литография
Пучок протонов
Ядерный сканирующий микрозонд
Магнітна квадрупольна лінза
Протонна пучкова літографія
Пучок протонів
Ядерний скануючий мікрозонд
Magnetic quadrupole lense
Proton beam writing
Proton beam
Nuclear scanning microprob
Type Article
Date of Issue 2013
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation А.А. Пономарева, Д.В. Магилин, Г.С. Воробьев, А.Г. Пономарев, Ж. Нано- электрон. физ. 5 № 1, 01030 (2013)
Abstract Обоснована необходимость разработки новых зондовых систем формирования пучков протонов МэВ-ных энергий в литографических технологиях высокого разрешения. Описана экспериментальная установка ядерного сканирующего микрозонда и условий проведения эксперимента при определении параметров сформированного пучка: величины тока и размеров зонда. Данные эксперимента показали более чем троекратное увеличение плотности тока в зонде для предложенной системы – квадруплета магнитных квадрупольных линз с индивидуальными источниками питания по сравнению с конвенциальной системой, распределенным «русским квадруплетом». При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985
Обґрунтовано необхідність розробки нових зондових систем формування пучків протонів МеВ-них енергій у літографічних технологіях високого розрізнення. Наведено опис експериментального пристрою ядерного скануючого мікрозонду й умов проведення експерименту при визначенні параметрів сформованого пучка: величина тока й розмірів зонда. Дані експерименту показали більш ніж трикратне збільшення щільності току в зонді для запропонованої системи – квадруплета магнітних квадрупольних лінз з індивідуальними джерелами живлення в порівнянні з конвенціальною системою, розділеним «російським квадруплетом». При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985
Justified the search of new probe systems to forming MeV energy proton beams in high resolution lithographic techniques. To produce description of the nuclear scanning microprobe and experimental conditions to determine parameters of the generated beam: the current and the size of the probe. The processing of the experimental data showed, that more than triple of current density increase in the probe for the new probe system - quadruplet of magnetic quadrupole lenses with individual power supplies compared to the conventional system of distribution "Russian quartet". When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Canada Canada
1
China China
1
France France
1
Germany Germany
10
Greece Greece
1
Ireland Ireland
103320
Italy Italy
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
4701
Puerto Rico Puerto Rico
1
Russia Russia
21
Singapore Singapore
1
Sweden Sweden
1
Turkey Turkey
6
Ukraine Ukraine
907940
United Kingdom United Kingdom
463366
United States United States
2722313
Unknown Country Unknown Country
907939

Downloads

China China
1
France France
1
Germany Germany
2
Ireland Ireland
1
Kazakhstan Kazakhstan
2
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
4
Ukraine Ukraine
2722313
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
5109626
Unknown Country Unknown Country
150

Files

File Size Format Downloads
Ponomarova A.A._Magnetic quadrupole lense.pdf 434,07 kB Adobe PDF 7832102

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.