Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35280
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Технології отримання сучасних напівпровідникових плівок SiC, AIN для застосування в мікроелектроніці та оптоелектроніці |
Authors |
Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Kosminska, Yuliia Oleksandrivna ![]() Mokrenko, Oleksandr Anatoliiovych Korniushchenko, Hanna Serhiivna ![]() Doshyn, Borys Viktorovych Дьошин, В.Б. Дешин, В.Б. Doshyn, V.B. Латишев, В.М. Латишев, В.М. Latyshev, V.M. |
ORCID |
http://orcid.org/0000-0002-2175-9206 http://orcid.org/0000-0002-2996-1003 |
Keywords |
магнетронне розпилення магнитронное распыление нітрид алюмінію нитрид аллюминия |
Type | Technical Report |
Date of Issue | 2011 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35280 |
Publisher | Вид-во СумДУ |
License | |
Citation | Технології отримання сучасних напівпровідникових плівок SiC, AIN для застосування в мікроелектроніці та оптоелектроніці: звіт про НДР (заключний) / Кер.: В.І. Перекрестов. - Суми: СумДУ, 2011. - 62 с. |
Abstract |
Метою проекту є дослідження й розробка нових технологічних підходів до формування конденсатів Si, SiC і AlN, основаних на явищах самоорганізації квазірівноважних стаціонарних процесів на межі поділу низькотемпературна плазма-конденсат.
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35280 |
Appears in Collections: |
Звіти з наукових досліджень |
Views
![Czechia](/flags/cz.gif)
2
![France](/flags/fr.gif)
3
![Germany](/flags/de.gif)
3926388
![Greece](/flags/gr.gif)
1
![Hungary](/flags/hu.gif)
3
![India](/flags/in.gif)
1
![Ireland](/flags/ie.gif)
1125336
![Lithuania](/flags/lt.gif)
1
![Netherlands](/flags/nl.gif)
24564
![Pakistan](/flags/pk.gif)
1
![Russia](/flags/ru.gif)
24562
![Turkey](/flags/tr.gif)
2
![Ukraine](/flags/ua.gif)
15456295
![United Kingdom](/flags/gb.gif)
7852605
![United States](/flags/us.gif)
88226721
![Unknown Country](/flags/--.gif)
248920
Downloads
![France](/flags/fr.gif)
7
![Germany](/flags/de.gif)
174
![Russia](/flags/ru.gif)
574950
![Ukraine](/flags/ua.gif)
15456296
![United Kingdom](/flags/gb.gif)
1
![United States](/flags/us.gif)
116885405
![Unknown Country](/flags/--.gif)
83
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Perekrestov_1069.doc | 27,09 MB | Microsoft Word | 132916916 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.