Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35280
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Технології отримання сучасних напівпровідникових плівок SiC, AIN для застосування в мікроелектроніці та оптоелектроніці
Authors Perekrestov, Viacheslav Ivanovych
Kosminska, Yuliia Oleksandrivna  
Mokrenko, Oleksandr Anatoliiovych
Korniushchenko, Hanna Serhiivna  
Doshyn, Borys Viktorovych
Дьошин, В.Б.
Дешин, В.Б.
Doshyn, V.B.
Латишев, В.М.
Латишев, В.М.
Latyshev, V.M.
ORCID http://orcid.org/0000-0002-2175-9206
http://orcid.org/0000-0002-2996-1003
Keywords магнетронне розпилення
магнитронное распыление
нітрид алюмінію
нитрид аллюминия
Type Technical Report
Date of Issue 2011
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35280
Publisher Вид-во СумДУ
License
Citation Технології отримання сучасних напівпровідникових плівок SiC, AIN для застосування в мікроелектроніці та оптоелектроніці: звіт про НДР (заключний) / Кер.: В.І. Перекрестов. - Суми: СумДУ, 2011. - 62 с.
Abstract Метою проекту є дослідження й розробка нових технологічних підходів до формування конденсатів Si, SiC і AlN, основаних на явищах самоорганізації квазірівноважних стаціонарних процесів на межі поділу низькотемпературна плазма-конденсат. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35280
Appears in Collections: Звіти з наукових досліджень

Views

Czechia Czechia
2
France France
3
Germany Germany
3926388
Greece Greece
1
Hungary Hungary
3
India India
1
Ireland Ireland
1125336
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
24564
Pakistan Pakistan
1
Russia Russia
24562
Turkey Turkey
2
Ukraine Ukraine
15456295
United Kingdom United Kingdom
7852605
United States United States
116885406
Unknown Country Unknown Country
248920

Downloads

France France
7
Germany Germany
174
Russia Russia
574950
Ukraine Ukraine
15456296
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
116885405
Unknown Country Unknown Country
83

Files

File Size Format Downloads
Perekrestov_1069.doc 27.09 MB Microsoft Word 132916916

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.