Вплив термічного окислення на процеси перенесення носіїв заряду в поруватому кремнії

Оленич, І.Б.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35583

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Вплив термічного окислення на процеси перенесення носіїв заряду в поруватому кремнії
Authors	Оленич, І.Б.
ORCID
Keywords	Поруватий кремній Термічне окислення Механізми електропровідності Термости- мульована деполяризація Рівні захоплення
Type	Article
Date of Issue	2013
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35583
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Оленич, І. Б. Вплив термічного окислення на процеси перенесення носіїв заряду в поруватому кремнії [Текст] / І. Б. Оленич // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т.5, №4, Ч.ІІ. - 04072.
Abstract	Досліджено температурну залежність електропровідності поруватого кремнію та термічно окисле- ного поруватого кремнію в режимах постійного і змінного струму в інтервалі 80-370 К. Одержані ре- зультати проаналізовано в рамках моделі невпорядкованих напівпровідників та визначено механізми перенесення носіїв заряду. На основі спектрів термостимульованої деполяризації виявлено локалізо- вані електронні стани, які впливають на електротранспортні властивості поруватого кремнію. Пока- зано, що термічне окислення зумовлює зміну густини заповнення станів в різних енергетичних діапа- зонах та розширення температурного діапазону, в якому реалізується стрибкоподібний механізм про- відності поруватого кремнію. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35583
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)