Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/38456
Title: Мультифрактальное исследование микрогеометрии поверхности (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N нитридных покрытий
Other Titles: Мультифрактальне дослідження мікрогеометрії поверхні (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N нітридних покриттів
The multifractal investigation of surface microgeometry of (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N nitride coatings
Authors: Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych 
Borysiuk, Vadym Mykolaiovych
Bahdasarian, Artem Anatoliiovych 
Максакова, О.В.
Смирнова, Е.В.
Keywords: Нитридные покрытия
Морфология поверхности
Мультифрактальный анализ
Нітридне покриття
Морфологія поверхні
Мультифрактальний аналіз
Nitride coating
Surface morphology
Multifractal analysis
Issue Year: 2014
Publisher: Сумский государственный университет
Citation: А.Д. Погребняк, В.Н. Борисюк, А.А. Багдасарян, и др., Ж. нано- электрон. физ. 6 № 4, 04018 (2014)
Abstract: Проведено якісне дослідження морфології (Ti-Hf-Zr-V-Nb) N нітридних покриттів залежно від по- тенціалу зсуву підкладки. Для кількісного аналізу зміни мікроскопічних неоднорідностей використо- вувався двовимірний мультифрактальний флуктуаційний аналіз. Розрахунок статистичних парамет- рів (узагальнений показник Херста та мультифрактальний спектр) вказує на відповідність теоретич- них розрахунків і експериментальних досліджень, а саме згладжування поверхні покриття із збіль- шенням енергії іонів.
Проведено качественное исследование морфологии (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N нитридных покрытий в зави- симости от потенциала смещения подложки. Для количественного анализа изменения микроскопиче- ских неоднородностей применялся двумерный мультифрактальный флуктуационный анализ. Расчет статистических параметров (обобщенный показатель Херста и мультифрактальный спектр) указывает на соответствие теоретических расчетов и экспериментальных исследований, а именно сглаживание поверхности покрытия с увеличением энергии ионов.
The qualitative investigation of the morphology of (Ti-Hf-Zr-V-Nb) N nitride coatings depending on the bias potential of the substrate was performed. The two-dimensional multifractal fluctuation analysis was used for the quantitative analysis of the changes in microscopic irregularities. The calculation of statistical parameters (generalized Hurst exponent and multifractal spectrum) indicates compliance with theoretical calculations and experimental studies, namely, smoothing of the coating surface with the increasing ion energy
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/38456
Type: Article
Appears in Collections:Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views
Other7
Belarus1
Canada1
Germany6
Finland2
Italy1
Netherlands2
Russia3
Ukraine17
United States1
Uzbekistan2
Downloads
Other14
Belarus1
China18
Germany2
Russia2
Ukraine15
Uzbekistan3


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Pogrebnjak_Borisyuk_Bagdasaryan_Maksakova_Smirnova.pdf521.74 kBAdobe PDF55Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.