Отримання плівок широкозонних напівпровідників методом хімічного осадження

Abstract

У роботі отримані тонкі плівки оксидів цинку та магнію. Експериментально досліджено морфологію поверхні, структурні і субструктурні характеристики цих конденсатів в залежності від температури розчину, його складу та часу нанесення. Рентренодифрактометричні дослідження дозволили встановити, що плівки MgO отримані в інтервалі температур підкладки Ts = 643-693 К були однофазними та мали кубічну структуру з яскраво вираженою текстурою росту [111], якість якої залежала від Ts. Були розраховані значення сталих кристалічної гратки матеріалу (a = 0,4215-0,4227 нм). Виявлено тенденцію до деякого збільшення а в інтервалі температур Ts = 643-663 К, з наступним зниженням значень сталої гратки при більших температурах. Обрані фізико-технологічні умови отримання суцільних плівок з однофазною структурою та відносно великим розміром ОКР.