Оптичні властивості одношарових плівок Co, Fe і Cu

Костенко, Максим Володимирович; Демиденко, Максим Геннадійович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40922

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Оптичні властивості одношарових плівок Co, Fe і Cu
Authors	Kostenko, Maksym Volodymyrovych Demydenko, Maksym Hennadiiovych
ORCID
Keywords	багатошарова плівкова структура многослойная пленочная структура multilayer film structure оптичний метод еліпсометрії оптический метод эллипсометрии optical method ellipsometry
Type	Conference Papers
Date of Issue	2015
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40922
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Костенко, М.В. Оптичні властивості одношарових плівок Co, Fe і Cu [Текст] / М.В. Костенко, М.Г. Демиденко; кер. І.В. Чешко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 20-25 квітня 2015 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми: СумДУ, 2015. — С. 120.
Abstract	При досліджені фізичних властивостей нанорозмірних багатошарових плівкових структур важливо знати товщини окремих шарів. Зазвичай їх визначають в процесі конденсації методом кварцового резонатора. Після завершення конденсації можна легко визначити загальну товщину плівкової системи, а такий структурний параметр як товщина окремого шару можна визначити руйнівними методами або неруйнівними методами рентгенівської рефлектометрії або еліпсометрії.
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)