Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/636
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Фізичні процеси в чутливих елементах датчиків температури, деформації і тиску
Authors Pazukha, Iryna Mykhailivna  
ORCID http://orcid.org/0000-0001-9410-3024
Keywords датчики температури, деформації і тиску
багатошарові плівки
термічний коефіцієнт опору
датчики температуры, деформации и давления
многослойные пленки
температурный коэффициент сопротивления
temperature, gauge and pressure sensors
multilayer film systems
temperature coefficient of resistance
Type Synopsis
Date of Issue 2009
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/636
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Пазуха, І. М. Фізичні процеси в чутливих елементах датчиків температури, деформації і тиску [Текст] : автореферат... канд. фіз.-мат. наук, спец.: 01.04.01 - фізика приладів, елементів і систем / І. М. Пазуха. - Суми : Сумський державний університет, 2009. - 24 с.
Abstract Дисертація присвячена встановленню особливостей фізичних процесів у багатошарових плівкових системах на основі Cu і Cr або Ag та Fe і Cr або Cu, які можуть бути використані як чутливі елементи датчиків температури, деформації і тиску. Запропонована методика оцінки внеску інтерфейсного розсіювання електронів у загальну величину питомого опору, температурного коефіцієнту опору (ТКО) і коефіцієнта тензочутливості (КТ). Розраховано внесок об’ємного, поверхневого, зерномежевого та інтерфейсного розсіювання електронів у загальну величину ТКО та КТ і зроблено розрахунок статистичної ваги кожного з цих механізмів розсіювання електронів. Показано, що робочі характеристики чутливих елементів датчиків температури, деформації і тиску можуть бути покращені за рахунок інтерфейсного розсіювання. Проаналізовано особливості процесів дифузії та фазоутворення у двошарових плівкових системах, компоненти яких мають різну взаємну розчинність, і вивчено проблему стабільності інтерфейсів. // Русск. версия: Диссертация посвящена изучению особенности физических процессов в многослойных пленочных системах на основе Cu и Cr или Ag, Fe и Cr или Cu, которые могут быть использованы как чувствительные элементы датчиков температуры, деформации и давления. Проведен анализ влияния физических процессов на электрофизические свойства чувствительных элементов датчиков температуры, деформации и давления. Показано, что величина удельного сопротивления многослойных пленочных систем при термообработке и деформации зависит от действия, которое оказывают внешний и внутренний размерные эффекты. Среди процессов, связанных с электронным транспортом в тонкопленочных образцах, наименее изученным является интерфейсное рассеяние. В связи с этим была предложена методика, которая позволила не только определить вклад данного механизма в величину удельного сопротивления, ТКО, КТ, но и показать, что рабочие характеристики термо- и тензорезисторов могут быть улучшены за счет увеличения количества границ раздела. Показано, что стабильность работы датчиков неэлектрических величин в значительной степени зависит от процессов фазообразования и взаимной диффузии атомов. Методом рентгеновской рефлектометрии проведен анализ стабильности границ раздела для образцов, компоненты которых имеют различную взаимную растворимость. Установлено, что в системе Fe/Cr, в которой уже на стадии конденсации происходит образование твердого раствора по всему объему пленки, интерфейс более гладкий (σ @ 0,35 - 0,98 нм) по сравнению с системой Cu/Cr (σ @ 0,58-1,53 нм), в которой сохраняется индивидуальность отдельных слоев. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/636
Appears in Collections: Автореферати

Views

Brazil Brazil
1
China China
8
Czechia Czechia
2
EU EU
2
France France
505835
Germany Germany
427874791
Greece Greece
1
Iceland Iceland
1
Iran Iran
3
Ireland Ireland
1318797295
Kazakhstan Kazakhstan
1
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
505837
Portugal Portugal
1
Russia Russia
41
Singapore Singapore
-468322552
Slovakia Slovakia
1
Turkey Turkey
11
Ukraine Ukraine
1097968944
United Kingdom United Kingdom
552903039
United States United States
629282398
Unknown Country Unknown Country
214135

Downloads

China China
427874792
France France
3
Germany Germany
552903034
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
5
Ukraine Ukraine
-936645104
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
1993802296
Unknown Country Unknown Country
391

Files

File Size Format Downloads
пазуха.pdf 5,38 MB Adobe PDF 2037935419

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.