Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/65173
Title: Фізико-механічні властивості та мікроструктура покриттів на основі нітриду ніобію легованого Si та Al
Authors: Рогоз, Владислав Миколайович
Рогоз, Владислав Николаевич
Rohoz, Vladyslav Mykolaiovych
Keywords: нанокомпозит
нанокомпозит
nanocomposite
захисне покриття
защитное покрытие
protective coating
магнетронне розпилення
магнетронное распыление
magnetron sputtering
нітрид ніобію
нитрид ниобия
niobium nitride
легування
легирование
alloying
напруга на підкладці
напряжение на подложке
stress on the substrate
фазоутворення
фазообразование
phase formation
Issue Year: 2018
Publisher: Сумський державний університет
Citation: Рогоз, В.М. Фізико-механічні властивості та мікроструктура покриттів на основі нітриду ніобію легованого Si та Al [Текст]: автореферат ... канд. фіз.-мат. наук, спец.: 01.04.07 - фізика твердого тіла / В.М. Рогоз. - Суми: СумДУ, 2018. - 20 с.
Abstract: Дисертаційну роботу присвячено комплексному дослідженню залежності морфології поверхні, структурних та субструктурних характеристик, елементного складу та механічних властивостей нанокомпозитних покриттів NbN, Nb-Si-N та Nb-Al-N від технологічних умов їх осадження. У роботі досліджені особливості переходу від двофазного покриття (δ-NbN+δ’-NbN) до нанокомпозитного покриття з аморфним прошарком між нанокристалітами (δ-NbN/a-Si3N4 та nc-NbNx/nc-(Nb,Al)Nx/a-AlN) шляхом зміни концентрації легуючої домішки кремнію та алюмінію відповідно. Показано, що підвищення негативного потенціалу позитивно впливає на механічні властивості нітриду ніобію.
Диссертационная работа посвящена комплексному исследованию зависимости морфологии поверхности, структурных и субструктурных характеристик, элементного состава и механических свойств нанокомпозитных покрытий NbN, Nb-Si-N и Nb-Al-N от технологических условий их осаждения. В работе исследованы особенности перехода от двухфазного покрытия (δ- NbN + δ`-NbN) до нанокомпозитного покрытия с аморфным слоем между нанокристаллитов (δ- NbN/a- Si3N4 и nc- NbNx/nc- (Nb,Al)Nx/a- AlN) путем изменения концентрации легирующей примеси кремния и алюминия соответственно. Показано, что повышение отрицательного потенциала положительно влияет на механические свойства нитрида ниобия.
The dissertation is devoted to the complex study of the dependence of surface morphology, structural and substructural characteristics, elemental composition and mechanical properties of nanocomposite coatings NbN, Nb-Si-N и Nb-Al-N on the technological conditions of their deposition. The features of the transition from a two-phase coating (δ - NbN + δ'-NbN) to a nanocomposite coating with an amorphous layer between nanocrystallites (δ - NbN/a - Si3N4 and nc - NbNx/nc - (Nb,Al)Nx/a -AlN ) by varying the dopant concentration of silicon and aluminum, respectively.
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/65173
Type: Synopsis
Appears in Collections:Автореферати

Views
Other26
Germany4
France1
United Kingdom1
Italy1
Kazakhstan1
Poland1
Slovakia1
Ukraine15
United States34
Downloads
Other9
China4
Germany1
Ukraine14
Poland1
Slovakia1


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
avtoref_Rohoz.pdf5.39 MBAdobe PDF26Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.