Вплив параметрів осадження та товщини шару на структуру, механічні та трибологічні властивості надтвердих багатошарових CrN/MoN покриттів

Abstract

Виготовлення захисних покриттів різними методами осадження дозволяє підвищити стійкість до зносу та корозії, зменшити тертя, підвищити період роботи ріжучих інструментів та механічних деталей. Нітридні плівки на основі перехідних і тугоплавких металів характеризуються високою твердістю, високими температурами плавлення, гарною хімічною та фізичною стійкістю, що дозволяє використовувати такі покриття як захисні. У той же час зменшення розміру зерна до наномасштабного діапазону призводить до збільшення твердості від 25 до 40 ГПа. Однією з перспективних багатошарових систем є поєднання нітридів хрому та молібдену. Багатошарова структура знижує вплив підкладки на розтріскування покриттів та дозволяє застосовувати їх під впливом великих динамічних навантажень. Чергування шарів нанометрового масштабу з різними фізико-механічними характеристиками дозволяє істотно змінити властивості багатошарових покриттів.