Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289
Title: Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов
Authors: Еремин, С.А.
Baturin, Volodymyr Andriiovych
Keywords: пучок ионов
пучок іонів
ion beam
распыление
розпорошення
spraying
вторичные нейтралы
вторинні нейтрали
secondary neutral
кластер
cluster
масс-спектрометр
mass-spectrometer
Issue Year: 2009
Publisher: Видавництво СумДУ
Citation: Батурин, В.А. Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов [Текст] / В.А. Батурин, С.А. Еремин // Журнал нано- та електронної фізики. — 2009. — Т.1, №1. — С.80-103.
Abstract: Стаття присвячена мас-спектрометричному дослідженню процесів іонного розпилення в широкому інтервалі енергій первинних іонів. З цією метою розроблена конструкція мас-спектрометра вторинних нейтралей, що на відміну від традиційних установок даного типу побудована на базі іонного імплантера, що генерує пучки іонів з енергією до 170 кеВ і щільністю струму на мішені до 1 мА/см2. Проведено комп'ютерне моделювання траєкторій електронів і позитивних іонів у системі реєстрації розпилених частинок і визначені оптимальні параметри системи для трьох режимів роботи установки. Проведено дослідження емісії розпилених нейтральних кластерів міді, а також процесів переважного розпилення ізотопів молібдену при різних параметрах пучка первинних іонів аргону. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289
URI: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289
Type: Article
Appears in Collections:Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views
Other59
Australia1
Brazil1
Canada1
China4
Czech Republic2
Germany9
Iran1
Italy1
Netherlands3
Russia26
Turkey2
Ukraine20
United States24
Downloads
Other138
Armenia1
China4
Germany2
France1
Russia4
Ukraine5
United States2


Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
jnep_2009_V1_N1_80-103.pdf394.47 kBAdobe PDF157Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.