Измерение аксиального энергетического разброса высокочастотного мультикаспового источника ионов

Abstract

Представлены результаты измерения аксиального энергетического разброса высокочастотного мультикаспового источника ионов, работающего на частоте 27,12 МГц. Измерены функции распределения ионов по энергии гелиевого и аргонового пучков при изменении высокочастотной мощности в пределах 50-300 Вт с помощью сеточного энергоанализатора методом задерживающего потенциала. Определены средняя энергия и энергетический разброс ионов гелия и аргона. Установлено, что минимальный энергетический разброс ионов гелия равен 7±1 эВ при 150 Вт ВЧ мощности При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559

The results of axial energy spread measurements of a 27.12 MHz radio-frequency multicusp ion source are presented. Ion energy distribution functions of extracted helium and argon ion beams have been measured by use of retarding field energy analyzer for 50-300 W of radio-frequency power. Average energy and energy spread of helium and argon ions have been determined. It was found that minimal ion energy spread of helium beam is equal to 7±1 eV at 150 W of radio-frequency power. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559