Властивості шарів поруватого кремнію та епітаксіальних шарів на його поверхні

Хрипко, С.Л.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9835

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Властивості шарів поруватого кремнію та епітаксіальних шарів на його поверхні
Authors	Хрипко, С.Л.
ORCID
Keywords
Type	Article
Date of Issue	2007
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9835
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Хрипко, С. Л. Властивості шарів поруватого кремнію та епітаксіальних шарів на його поверхні [Текст] / С. Л. Хрипко // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2007. - №1. - С. 157-162.
Abstract	У роботі отримані конкретні результати про вплив умов електрохімічного анодування на головні параметри поруватого кремнію: товщину, поруватість, густину, розміри пор. Показана можливість управління процесами анодування. Були вирощені епітаксіальні плівки на поруватому кремнію, які мали високий рівень досконалості. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9835
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)