Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)
Permanent URI for this collectionhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/197
Browse
3 results
Search Results
Item Study of the Elemental Composition of Thin Nanocrystalline Films of CoNi and FeNi Alloys by X-ray Spectral Microanalysis(Sumy State University, 2025) Loboda, V.B.; Khursenko, S.M.; Kravchenko, V.O.; Zubko, V.M.; Chepizhnyi, A.V.У статті наведено результати дослідження елементного складу нанокристалічних плівок сплавів CoNi та FeNi методом рентгенівського мікроаналізу (рентгенівський мікроаналізатор на базі спектрометра з дисперсією за енергією, що входить до складу растрового електронного мікроскопа РЕМ-103- 01). Плівки сплавів завтовшки 10-200 нм були отримані конденсацією випарених вихідних масивних бінарних сплавів CoNi та FeNi у вакуумі 10-4 Па. Сплави CoNi випаровувалися електронно-променевим способом за допомогою електронної діодної гармати зі швидкістю конденсації 0,5-1,5 нм/с. Чистота вихідних металів Co та Ni становила не менше 99,9 %. Концентрації компонент плівок сплаву CoNi змінювалися в широкому діапазоні. Плівки сплаву FeNi були отримані в результаті випаровування технічного сплаву пермалою 50Н. Характеристичний рентгенівський спектр речовини плівки збуджувався при скануванні електронним пучком ділянки плівки розмірами 300 300 мкм; для товстіших плівок розмір ділянки сканування становив 1 1 мкм. Як еталони при проведенні кількісних вимірювань елементного складу плівок сплавів певної товщини використовувалися тонкі плівки Ni такої ж товщини. Результати рентгенівського мікроаналізу свідчать про високу чистоту плівок. Зіставлення результатів вимірювань рентгенівським мікроаналізом концентрацій вихідних сплавів та отриманих плівок показало їх збіг у межах похибки аналізуItem SIMS Analysis of Copper-Nickel Thin Films Alloys(Sumy State University, 2024) Loboda, V.B.; Zubko, V.M.; Khursenko, S.M.; Saltykova, A.I.; Chepizhnyi, A.V.У статті наведено результати дослідження елементного та ізотопного складу плівок сплавів на основі Cu і Ni методом вторинно-іонного мас-спектрометричного аналізу (вторинно-іонний масспектрометр МС-7201 М). Плівки сплавів товщинами до 130 нм були отримані на скляних полірованих підкладках з попередньо нанесеним буферним шаром Al одночасним роздільним випаровуванням компонент у вакуумі 10-4 Па. Мідь випаровувалася зі стрічки з вольфрамової фольги товщиною 0,05 мм. Нікель випаровувався електронно-променевим способом за допомогою електронної діодної гармати. Швидкість конденсації становила 0,5-1,5 нм/с. Чистота випаровуваних металів становила щонайменше 99,98%. В якості зондууючих первинних іонів використовувалася іони Ar+ з енергією 5 кеВ. Результати якісного мас-спектрометричного аналізу вторинних іонів свідчать про високу чистоту плівок (відсутність гідридів, оксидів і карбідів Cu та Ni). Елементний склад плівок представлений ізотопами Ni58, Ni60 та Cu63, Cu65. Відношення ізотопних інтенсивностей складають INi 58/INi 60 = 2,6 та ICu 63/ICu 65 = 2,3, що відповідає природній поширеності ізотопів нікелю та міді. Відношення ізотопних інтенсивностей ICu 63/INi 58 практично не змінюється по всій товщині зразка. Було показано, що методом вторинно-іонної масспектрометрії можна проводити також і кількісний аналіз елементного складу плівкових сплавів.Item X-Ray Spectral Microanalysis of Copper-Nickel Thin Films Alloys(Sumy State University, 2023) Лобода, Валерій Борисович; Лобода, Валерий Борисович; Loboda, Valerii Borysovych; Zubko, V.M.; Khursenko, S.M.; Kravchenko, V.O.; Chepizhnyi, A.V.У статті наведено результати дослідження елементного складу плівок сплавів CuNi методом рентгенівського мікроаналізу (рентгенівський мікроаналізатор на базі спектрометра з дисперсією з енергії, що входить до складу растрового електронного мікроскопа РЕМ-103-01). Плівки сплавів товщинами 30-150 нм були отримані одночасним роздільним випаровуванням компонент (мідь та нікель) у вакуумі 10 – 4 Па. Мідь випаровувалася зі стрічки з вольфрамової фольги товщиною 0,05 мм. Нікель випаровувався електронно-променевим способом за допомогою електронної діодної гармати. Швидкість конденсації становила 0,5-1,5 нм/с. Чистота випаровуваних металів становила щонайменше 99,98 %. Розрахунковий склад концентрацій компонентів зразків змінювався в широкому діапазоні. Характеристичний рентгенівський спектр речовини плівки порушувався при скануванні електронним пучком ділянки плівки розмірами 300 x 300 мкм; для товстіших плівок розмір ділянки сканування становив 1 x 1 мкм. Як еталони при проведенні кількісних вимірювань елементного складу плівок сплавів певної товщини використовувалася тонкі плівки Ni такої ж товщини. Результати рентгенівського мікроаналізу свідчать про високу чистоту плівок. Зіставлення розрахункових концентрацій сплавів та результатів вимірювань рентгенівським мікроаналізом показало, що в області товщин плівок d ˂ 100 нм розбіжність становить близько 10 %, знижуючись до 1-3 % при товщинах зразків d ˃ 100 нм.