Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)
Permanent URI for this collectionhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/197
Browse
8 results
Search Results
Item Моделирование процесса создания микрокомпонентов для вакуумной электроники и рентгеновской оптики с применением протонно-лучевой литографии(Сумский государственный университет, 2017) Пономарьов, Олександр Георгійович; Пономарев, Александр Георгиевич; Ponomarov, Oleksandr Heorhiiovych; Лапин, О.С.; Колинько, С.В.; Ребров, В.А.; Журба, В`ячеслав Олегович; Журба, Вячеслав Олегович; Zhurba, Viacheslav Olehovych; Петровський, Михайло Васильович; Петровский, Михаил Васильевич; Petrovskyi, Mykhailo Vasylovych; Коломиец, В.Н.; Кравченко, С.Н.Проведено численное моделирование процесса сканирования сфокусированным пучком протонов с энергией 1 МэВ в канале протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя с целью выбора размеров отклоняющих пластин электростатической сканирующей системы. Условием выбора были максимальная величина растра сканирования на поверхности облучаемого образца и минимизация отклонения пучка вдоль оптической оси. Разработана программа построения профиля сканирования пучком, который адекватно отображает шаблон создаваемых микрокомпонентов. Отработан процесс подготовки образцов с нанесением тонкого слоя резистивного материала. Определены дозы облучения образцов протонным пучком для получения условий полного травления облученной области. Проведены тестовые эксперименты по проверке работоспособности системы управления процессом сканирования.Item Структура і елементний склад плівок Pb1 – xSnxS(Сумський державний університет, 2015) Коваль, Павло Вікторович; Коваль, Павел Васильевич; Koval, Pavlo Viktorovych; Опанасюк, Анатолій Сергійович; Опанасюк, Анатолий Сергеевич; Opanasiuk, Anatolii Serhiiovych; Туровець, А.І.; Ташликов, І.С.; Пономарьов, Олександр Георгійович; Пономарев, Александр Георгиевич; Ponomarov, Oleksandr Heorhiiovych; Жуковські, П.В роботі методами дифрактометрії, растрової і атомно-силової мікроскопії, рентгенівського характеристичного випромінювання індукованого сфокусованим протонним пучком (PIXE), Резерфордівського зворотного розсіювання іонів гелію-4 проведено дослідження плівок твердих розчинів Pb1 – xSnxS, нанесених методом «гарячої стінки». Встановлено, що шари отримані в інтервалі температур конденсації Ts = (268-382) °C, мають практично однофазну кристалічну структуру орторомбічної модифікації з параметрами гратки, які знаходяться у діапазоні a = (0,4214-0,4293) нм, b = (1,1246-1,1313) нм с = (0,3980-0,4015) нм. Розміри областей когерентного розсіювання в плівках складають L(040) = (35,5- 47,5) нм, L(131) = (44,4-51,5) нм. Досліджено розподіл компонентів сполуки за площею плівок (ϻ-PІXE), а також визначено їх елементний склад (PІXE). Встановлено, що отримані зразки дещо збіднені сіркою в порівнянні зі стехіометричним складом. Атомна концентрація компонентів, що входять до складу твердого розчину, змінюється в інтервалі СPb = 12,71-19,13; CSn = 40,29-44,46; CS = 38,36-42,75 ат. %. При збільшенні температури підкладки вміст свинцю в плівках збільшується, а сірки зменшується, атомна концентрація олова при цьому змінюється слабко.Item Формирование прецизионного пучка протонов в зондовой системе с индивидуальными источниками питания магнитных квадрупольных линз (результаты эксперимента)(Сумский государственный университет, 2013) Пономарьова, Ганна Олександрівна; Пономарева, Анна Александровна; Ponomarova, Hanna Oleksandrivna; Воробйов, Геннадій Савелійович; Воробьев, Геннадий Савельевич; Vorobiov, Hennadii Saveliiovych; Магилин, Д.В.; Пономарьов, Олександр Георгійович; Пономарев, Александр Георгиевич; Ponomarov, Oleksandr HeorhiiovychОбоснована необходимость разработки новых зондовых систем формирования пучков протонов МэВ-ных энергий в литографических технологиях высокого разрешения. Описана экспериментальная установка ядерного сканирующего микрозонда и условий проведения эксперимента при определении параметров сформированного пучка: величины тока и размеров зонда. Данные эксперимента показали более чем троекратное увеличение плотности тока в зонде для предложенной системы – квадруплета магнитных квадрупольных линз с индивидуальными источниками питания по сравнению с конвенциальной системой, распределенным «русским квадруплетом». При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985Item Моделирование процессов формирования ионных пучков в зондах с распределенными системами магнитных квадрупольных линз(Сумский государственный университет, 2012) Дрозденко, Олексій Олександрович; Дрозденко, Алексей Александрович; Drozdenko, Oleksii Oleksandrovych; Колинько, С.В.; Пономарьов, Олександр Георгійович; Пономарев, Александр Георгиевич; Ponomarov, Oleksandr HeorhiiovychРазработана математическая модель, позволяющая учитывать угловое отклонение в магнитных квадрупольных линзах от нормального положения при проводке пучка через зондоформирующую систему. Проведено моделирование матричным методом влияния отклонения каждой линзы на параметры зонда на мишени в распределенных системах магнитных квадрупольных линз для двух наиболее распространенных конфигураций зондоформирующих систем – триплет и «русский квадруплет». При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/29623Item Применение сфокусированных пучков заряженных частиц низких и средних энергий в нанотехнологиях(Изд-во СумГУ, 2008) Пономарьов, Олександр Георгійович; Пономарев, Александр Георгиевич; Ponomarov, Oleksandr HeorhiiovychItem Моделирование параметров установки для исследования структуры магнитного поля устройств ионной оптики(Изд-во СумГУ, 2008) Колинько, С.В.; Пономарьов, Олександр Георгійович; Пономарев, Александр Георгиевич; Ponomarov, Oleksandr HeorhiiovychПроанализированы методы исследования структуры полей устройств ионной оптики. Проведено моделирование влияния физических и геометрических факторов на точность метода восстановления структуры поля магнитных квадрупольных линз. Метод основан на измерении радиальной составляющей вектора индукции магнитного поля на виртуальной цилиндрической поверхности, охватывающей область прохождения пучка в рабочем зазоре линзы. Вычисление структуры поля внутри этой поверхности осуществляется на основании решения граничной задачи Неймана для уравнения Лапласа, где измеренные значения радиальной составляющей поля используются в качестве граничных условий. Это дает возможность определить пространственное распределение скалярного магнитного потенциала и вычислить мультипольные компоненты поля. Рассчитаны требования к параметрам установки для определения секступольных и октупольных компонент на минимальном уровне 0.1% от основной квадрупольной компоненты поля магнитной квадрупольной линзы. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9562Item Численное моделирование движения электронов в электрическом поле аксиально-симметричных электронно-оптических систем(Издательство СумГУ, 2003) Воробьев, Геннадий Савельевич; Пономарьов, Олександр Георгійович; Дрозденко, Алексей Александрович; Коплык, Игорь Владимирович; Vorobiov, Hennadii Saveliiovych; Воробйов, Геннадій Савелійович; Drozdenko, Oleksii Oleksandrovych; Дрозденко, Олексій Олександрович; Коплик, Ігор Володимирович; Koplyk, Ihor Volodymyrovych; Пономарев, Александр Георгиевич; Ponomarov, Oleksandr HeorhiiovychIn work the design procedure of fields and trajectory the analysis of electron beam for axial-symmetric electron-optical systems is offered. Calculation of structure of electrical field is based on the dividing all electrodes to elementary charged parts. With computer modeling is used method of Everhart for forming envelope of electron beam. Attached method keep in mind influence of space charge, energy spread and direction spread of electrons. Calculations for concrete electron-optical system which correlate with results before the received experimental data are carried spent. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1583Item Моделирование нелинейной динамики пучка заряженных частиц в аксиально-симметричном электростатическом поле методом матрициантов(Издательство СумГУ, 2003) Игнатьев, И.Г.; Магилин, Д.В.; Пономарьов, Олександр Георгійович; Мирошниченко, В.И.; Пономарев, Александр Георгиевич; Ponomarov, Oleksandr HeorhiiovychTechnique of modeling of nonlinear dynamics of a beam of the charged particles in axial electrostatic field by a method of matrizant is developed. Code calculating matrizant of axial electrostatic field and allowing is written to expect parameters of a beam. Results of account bending around of a beam in the electrostatic accelerator EGP-10 are submitted. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1552