Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)
Permanent URI for this collectionhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/197
Browse
2 results
Search Results
Item Моделирование процесса создания микрокомпонентов для вакуумной электроники и рентгеновской оптики с применением протонно-лучевой литографии(Сумский государственный университет, 2017) Пономарьов, Олександр Георгійович; Пономарев, Александр Георгиевич; Ponomarov, Oleksandr Heorhiiovych; Лапин, О.С.; Колинько, С.В.; Ребров, В.А.; Журба, В`ячеслав Олегович; Журба, Вячеслав Олегович; Zhurba, Viacheslav Olehovych; Петровський, Михайло Васильович; Петровский, Михаил Васильевич; Petrovskyi, Mykhailo Vasylovych; Коломиец, В.Н.; Кравченко, С.Н.Проведено численное моделирование процесса сканирования сфокусированным пучком протонов с энергией 1 МэВ в канале протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя с целью выбора размеров отклоняющих пластин электростатической сканирующей системы. Условием выбора были максимальная величина растра сканирования на поверхности облучаемого образца и минимизация отклонения пучка вдоль оптической оси. Разработана программа построения профиля сканирования пучком, который адекватно отображает шаблон создаваемых микрокомпонентов. Отработан процесс подготовки образцов с нанесением тонкого слоя резистивного материала. Определены дозы облучения образцов протонным пучком для получения условий полного травления облученной области. Проведены тестовые эксперименты по проверке работоспособности системы управления процессом сканирования.Item Формирование прецизионного пучка протонов в зондовой системе с индивидуальными источниками питания магнитных квадрупольных линз (результаты эксперимента)(Сумский государственный университет, 2013) Пономарьова, Ганна Олександрівна; Пономарева, Анна Александровна; Ponomarova, Hanna Oleksandrivna; Воробйов, Геннадій Савелійович; Воробьев, Геннадий Савельевич; Vorobiov, Hennadii Saveliiovych; Магилин, Д.В.; Пономарьов, Олександр Георгійович; Пономарев, Александр Георгиевич; Ponomarov, Oleksandr HeorhiiovychОбоснована необходимость разработки новых зондовых систем формирования пучков протонов МэВ-ных энергий в литографических технологиях высокого разрешения. Описана экспериментальная установка ядерного сканирующего микрозонда и условий проведения эксперимента при определении параметров сформированного пучка: величины тока и размеров зонда. Данные эксперимента показали более чем троекратное увеличение плотности тока в зонде для предложенной системы – квадруплета магнитных квадрупольных линз с индивидуальными источниками питания по сравнению с конвенциальной системой, распределенным «русским квадруплетом». При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/30985