Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)
Permanent URI for this collectionhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/197
Browse
Search Results
Item Исследование влияния состава остаточных газов на твердость, адгезионные свойства и элементный состав покрытий SiC-AlN, нанесенных методом магнетронного распыления(Сумский государственный университет, 2018) Гончаров, И.Ю.; Колесников, Д.А.; Новиков, В.Ю.; Ковалева, М.Г.; Литовченко, С.В.; Мазилин, Б.А.; Горох, Д.В.; Береснев, В.М.; Diaz Yanez, David AlejandroМетодом шликерного литья из чистых порошков микронного размера SiC и AlN в молярном соотно-шении 1:1 была изготовлена мишень SiC-AlN для последующего магнетронного распыления в виде диска диаметром 100 мм. Общее количество добавок, активирующих спекание и получение малопори-стого материала в композите SiC-AlN не превышало 1 %. Методом магнетронного распыления компо-зитной мишени были получены покрытия на поверхности нержавеющей стали и монокристалличе-ского кремния. Представлены результаты исследования влияния соотношения газов рабочей атмо-сферы аргон-азот, на структуру, состав, механические и адгезионные свойства полученных покрытий. Были изготовлены 2 серии образцов при следующих параметрах: 100%Ar, 44,4% Ar + 55,6% N. Тол-щина полученных покрытий составила порядка 1,5 мкм. Твердость покрытий определялось из анали-за кривых нагрузка-перемещение полученных с помощью ультрамикротвердомера фирмы SHIMADZU. Для покрытий, нанесѐнных в атмосфере аргона, микротвердость составила около 3320 HV, для покрытий, нанесенных в атмосфере Ar+N – 1600 HV. Также было обнаружено, что до-бавление азота в атмосферу камеры снижает адгезионную прочность покрытий примерно в 1.5 раза.