Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Permanent URI for this collectionhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/197

Browse

Search Results

Now showing 1 - 1 of 1
  • Item
    Вплив умов нанесення тонких полімерних плівок в вакуумі на їх діелектричні властивості
    (Сумський державний університет, 2018) Задорожний, В.Г.; Сергєєва, О.Є.
    У роботі описується вплив умов проведення вторинної полімеризації на діелектричні властивості тонких полімерних плівок (е' і tgб), отриманих розкладанням і конденсацією полімерів в вакуумі. Розкладання полімеру проводилося електронним променем. Змінними параметрами при ініціюванні вторинної полімеризації були потужність електронного променя, що опромінює підкладку, температура конденсації (підкладки), густина струму електронів, які бомбардують підкладку і їх енергія, а також напруга ВЧ розряду при газорозрядному нанесенні плівок. Найкращі параметри опромінення лежать в певному інтервалі, а саме: Е = 200-400 еВ; j = 0,2-0,3 мА/см2. Як показують результати дослідження структури виготовлених плівок, саме в цьому інтервалі енергій електронів в плівках міститься мінімальна кількість вільних радикалів і ненасичених зв'язків. А саме вони і є центрами асиметрії і погіршують діелектричні втрати в плівках, особливо на високих частотах.