Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)
Permanent URI for this collectionhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/197
Browse
Search Results
Item Study of the Elemental Composition of Thin Nanocrystalline Films of CoNi and FeNi Alloys by X-ray Spectral Microanalysis(Sumy State University, 2025) Loboda, V.B.; Khursenko, S.M.; Kravchenko, V.O.; Zubko, V.M.; Chepizhnyi, A.V.У статті наведено результати дослідження елементного складу нанокристалічних плівок сплавів CoNi та FeNi методом рентгенівського мікроаналізу (рентгенівський мікроаналізатор на базі спектрометра з дисперсією за енергією, що входить до складу растрового електронного мікроскопа РЕМ-103- 01). Плівки сплавів завтовшки 10-200 нм були отримані конденсацією випарених вихідних масивних бінарних сплавів CoNi та FeNi у вакуумі 10-4 Па. Сплави CoNi випаровувалися електронно-променевим способом за допомогою електронної діодної гармати зі швидкістю конденсації 0,5-1,5 нм/с. Чистота вихідних металів Co та Ni становила не менше 99,9 %. Концентрації компонент плівок сплаву CoNi змінювалися в широкому діапазоні. Плівки сплаву FeNi були отримані в результаті випаровування технічного сплаву пермалою 50Н. Характеристичний рентгенівський спектр речовини плівки збуджувався при скануванні електронним пучком ділянки плівки розмірами 300 300 мкм; для товстіших плівок розмір ділянки сканування становив 1 1 мкм. Як еталони при проведенні кількісних вимірювань елементного складу плівок сплавів певної товщини використовувалися тонкі плівки Ni такої ж товщини. Результати рентгенівського мікроаналізу свідчать про високу чистоту плівок. Зіставлення результатів вимірювань рентгенівським мікроаналізом концентрацій вихідних сплавів та отриманих плівок показало їх збіг у межах похибки аналізу