Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)
Permanent URI for this collectionhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/197
Browse
3 results
Search Results
Item Effect of the Magnetron Sputtering Parameters on the Structure and Substructural Characteristics of Tantalum Diboride Films(Sumy State University, 2017) Гончаров, Олександр Андрійович; Гончаров, Александр Андреевич; Honcharov, Oleksandr Andriiovych; Юнда, Андрій Миколайович; Юнда, Андрей Николаевич; Yunda, Andrii Mykolaiovych; Шелест, Ігор Владиславович; Шелест, Игорь Владиславович; Shelest, Ihor Vladyslavovych; Буранич, Володимир Володимирович; Буранич, Владимир Владимирович; Buranych, Volodymyr VolodymyrovychThe effect of the RF- and DC-magnetron sputtering parameters on the structure and substructural characteristics of protective coatings based on tantalum diboride thin films was studied in this work.The results of the studies showed that the sign and magnitude of the applied bias potential at the use of both types of magnetron sputtering (RF and DC) have a crucial effect on the structure and substructural properties of tantalum diboride films. It was established that nanocrystalline tantalum diboride films of the overstoichiometric composition (CВ/CТа ≈ 2.2-2.6) and having strong growth texture in plane (00.1) were obtained at the bias potential of + 50 V and – 50 V in the RF- and DC-magnetron sputtering respectively. Thus obtained films had the best physico-mechanical properties and general substructural characteristic quantities: nanocristallites size of ~ 30 nm, and increased value of «c» parameter compared with the tabulated.Item Получение пленок карбида кремния методом магнетронного распыления составной углерод-кремниевой мишени(Сумский государственный университет, 2015) Перекрестов, Вячеслав Іванович; Перекрестов, Вячеслав Иванович; Perekrestov, Viacheslav Ivanovych; Корнющенко, Ганна Сергіївна; Корнющенко, Анна Сергеевна; Korniushchenko, Hanna Serhiivna; Загайко, Інна Володимирівна; Загайко, Инна Владимировна; Zahaiko, Inna VolodymyrivnaУ роботі проаналізовано відомі методи отримання конденсатів SiC, політипу цього з'єднання, а також запропонована методика отримання карбіду кремнію за допомогою магнетронного розпилення складових мішеней. Наведено розрахунки оптимальних геометричних характеристик складеної з кремнію і графіту мішені для магнетронного розпилення. За результатами дослідження структури конденсатів SiC за допомогою ПЕМ і дифракції електронів, а також на підставі визначення елементного складу при використанні енерго-дисперсійного аналізу були уточнені геометричні характеристики складової мішені, а також встановлені оптимальні технологічні умови отримання конденсатів у вигляді політипу 3С-SiC, з близьким до стехіометричного елементним складом.Item Получение и некоторые особенности окисления наносистем Zn(Сумский государственный университет, 2014) Латишев, Віталій Михайлович; Латышев, Виталий Михайлович; Latyshev, Vitalii Mykhailovych; Корнющенко, Ганна Сергіївна; Корнющенко, Анна Сергеевна; Korniushchenko, Hanna Serhiivna; Перекрестов, Вячеслав Іванович; Перекрестов, Вячеслав Иванович; Perekrestov, Viacheslav IvanovychВивчені закономірності формування наносистем цинку при конденсації слабко пересичених парів у високочистому інертному середовищі при варіюванні таких технологічних параметрів, як потужність розряду магнетронного розпилювача та тиск робочого газу (Ar). За допомогою рентгенофазового аналізу і РЕМ-досліджень з’ясовано, що найбільш тонкі та взаємозв’язані нанонитки цинку формуються при тиску робочого газу 12 Па і потужності магнетронного розпилювача 30 Вт. Показано, що процеси окислення наносистем цинку з максимально можливим збереженням морфології вихідних структур можливі при використанні в якості окислювального середовища суміші газів CO2 і O2.