Звіти з наукових досліджень
Permanent URI for this collectionhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/107
Browse
Search Results
Item Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике(СумДУ, 2014) Погребняк, Олександр Дмитрович; Погребняк, Александр Дмитриевич; Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych; Кирік, Григорій Васильович; Кирик, Григорий Васильевич; Kyrik, Hryhorii Vasylovych; Ілляшенко, Максим Вікторович; Ильяшенко, Максим Викторович; Illiashenko, Maksym Viktorovych; Каверін, Михайло Валерійович; Каверин, Михаил Валерьевич; Kaverin, Mykhailo Valeriiovych; Каверіна, Аліса Шер Ахмад; Каверина, Алиса Шер Ахмад; Kaverina, Alisa Sher Akhmad; Шипиленко, Андрій Павлович; Шипиленко, Андрей Павлович; Shypylenko, Andrii Pavlovych; Постольний, Богдан Олександрович; Постольный, Богдан Александрович; Postolnyi, Bohdan Oleksandrovych; Рогоз, Владислав Миколайович; Рогоз, Владислав Николаевич; Rohoz, Vladyslav Mykolaiovych; Братушка, Сергій Миколайович; Братушка, Сергей Николаевич; Bratushka, Serhii MykolaiovychОсновной целью научно-исследовательской работы является установление взаимосвязи технологических параметров осаждения (давление рабочего газа и потенциал смещения подложки) с термической стабильностью, механическими и трибологическими свойствами наноструктурных нитридных покрытий (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N. Для достижения поставленной цели решались следующие задачи: 1)проанализировать влияние технологических параметров осаждения (давление рабочего газа и потенциал смещения подложки) на элементный и фазовый состав нитридных покрытий; 2)изучить термическую стабильность нитридных покрытий при температуре отжига 873 К.