(Сумський державний університет, 2021) Майфет, Ю.В.
У дипломній роботі було проведено дослідження нітридних структур. За допомогою програмного забезпечення Origin було проаналізовано результати XRD аналізу нітридних структур, отриманих методом вакуумно-дугового осадження (VA-PVD).