Періодичні видання СумДУ
Permanent URI for this communityhttps://devessuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/69
Browse
3 results
Search Results
Item Heat exchange in a contact zone of nanoinstrumentation with elements of the microsystem technology(Sumy State University, 2023) Antonyuk, V.S.; Bondarenko, I.Iu.; Vislouh, S.P.; Voloshko, O.V.; Bondarenko, M.O.Theoretical studies of physical processes and phenomena in the zone of physical interaction of nanoinstruments with the surfaces of elements of microsystem technology are carried out in work. Based on the conducted research, mathematical models of energy heat exchange in the zone of physical contact of nanometric dimensions were compiled, and their analytical solution was obtained using the Fourier method of separation of variables and Goodman’s integral method. Simultaneously, the energy components of the processes in the nanocontact zone were considered. The numerical solution of the mathematical model of energy heat exchange in the zone of physical nanocontact was carried out using a software application based on the finite element method. The results were checked according to the equivalent thermal scheme to confirm the adequacy and accuracy of the obtained models. As a result, the mechanisms of energetic interaction of the nanoinstrument with the surfaces of the elements of microsystem technology devices were clarified. It is shown that the use of the proposed method of equivalent thermal circuits for the evaluation of mathematical models of the energy interaction of nanoinstruments with the surfaces of microsystem technology device elements, as well as the further study of the distribution of thermal fields in the nanocontact zone, differs from other numerical and analytical methods in terms of sufficient accuracy and speed of calculations. At the same time, it was established that the discrepancy between the results of mathematical modeling and the results obtained according to the equivalent thermal scheme does not exceed 5-8 %.Item Research of Microhardness of Thin Ceramic Coatings Formed by Combined Electron-beam Method on Dielectric Materials(Sumy State University, 2019) Antonyuk, V.S.; Bondarenko, Yu.Yu.; Bilokin’, S.O.; Andrienko, V.O.; Bondarenko, M.O.Встановлені особливості отримання на поверхнях діелектриків (на прикладі кремнію Кр1) тонких керамічних покриттів (TiO2 + Al2O3, Al2O3, ZrO2) при їх формуванні термічним випаровуванням у вакуумі. Досліджено механізм підвищення мікротвердості таких покриттів шляхом їх поверхневого модифікування електронним потоком стрічкової форми. Показано, що комбіноване термовакуумне нанесення тонких керамічних покриттів із порошкових матеріалів на поверхню кремнію Кр1 з наступним їх модифікуванням електронним потоком низької енергії в одному технологічному циклі, дозволяє суттєво зменшити мікрорельєф та стабілізувати однорідність поверхонь покриттів, а також підвищити хімічну і біологічну стійкість цих покриттів до впливу оточуючого середовища. Визначено умови якісного знаходження мікротвердості досліджуваного матеріалу із залученням методу атомно-силової мікроскопії. Проведені дослідження мікротвердості як модифікованих покриттів, так і поверхонь діелектриків, на які проводилося їх нанесення. Встановлено факт нелінійного збільшення мікротвердості (на 13-17 %) тонких покриттів, нанесених на поверхню діелектричного матеріалу комбінованим електронно-променевим методом по мірі зменшення товщини цих покриттів. Показана можливість визначення мікротвердості багатошарових мультифункціональних керамічних покриттів, отриманих комбінованою електронно-променевою технологією, за різних умов та різних режимів проведення технологічного експерименту.Item Research of Current-Conducting Electrodes of Elements from Piezoelectric Ceramics Modified by the Low-Energy Ribbon-Shaped Electron Stream(Sumy State University, 2018) Medianyk, V.V.; Bondarenko, Yu.Yu.; Bazilo, C.V.; Bondarenko, M.O.В статті встановлені закономірності впливу структурних перетворень, що відбуваються при модифікуванні струмопровідних електродів елементів із п’єзоелектричних керамік стрічковим електронним потоком низької енергії на експлуатаційні характеристики (зносостійкість та корозійну стійкість) цих електродів. В основі технологічного експерименту отримання модифікованих електродів на п’єзокерамічних елементах лежить комбінований процес термічного осадження тонкого срібного покриття на основі з п’єзоелектричної кераміки у вакуумі. Для двох груп зразків (утворені за запропонованою авторами технологією срібні покриття на п’єзоелектричних елементах та покриття, отримані у промисловий спосіб) проводилися дослідження стану поверхні (мікрорельєфу, елементного складу) та інтенсивність зношування.